刘佳宁他们研发的新技术,能够有效缩短光的反射路程,减少过程中的能量损耗,折合过去,就是每天大量减少电力消耗,同时还降低了光刻机本身的制造难度,理所当然得到大佬的高度赞扬。
大佬笑道:“毕竟是个新技术,目前不够稳定,对物镜系统要求也比较高,确实有些隐患。”
他又翻出几个数据,招呼刘佳宁和曲旭清看。
两人把着重提出来的数据汇总分析,很快意识到,由于对物镜系统要求过高,这项技术很可能会影响整个光刻机的温控设备。
刘佳宁恍然大悟,还对姜昭节解释道:“这应该就是我本能觉得不对的地方了。咱们公司的实验室,没有单独测量物镜温度的设备,我倒是疏忽了这一块的问题。”
目前对于调控缩放线路图的光路,比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。
新技术可以缩短芯片制程,虽然减少一定能耗,但每单位路程上,光束更加集中,导致单位体积内热量增高,必然影响温控设备的使用和调节。
曲旭清琢磨着道:“看来得增加一个补偿校正温度的设备。”
刘佳宁:“温度控制器?以目前国内的物镜生产水平,恐怕得加大功率的才有效。”
姜昭节随口道:“什么样算大功率?如果功率过大,会不会这项技术能够减少的能耗?”
刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头:“这个要测定一下,还不好说。”
但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗,那这项技术……