关键原因，还是在产量上。

一年十几台的出货量，就算被抢上天，对他们也没有多大的威胁。

而限制深紫外光刻机产量的，归根结底还是镜头。

甚至这十几个镜头都是井熙花了大力气才搞来的，不但花费不菲，还得了不少冷脸，人家是典型的卖方市场，镜头压根不愁卖，订单也总先紧着欧美的客户，至于对这一群华国人，要价更高不说，还常常故意把单子排在末尾，叫井熙她们受了不少气。

后来还是井熙那个熟人，司宁青出面，才帮她们搞到这点镜头，要不然，深紫外光刻机一推出就直接开天窗，也不是不可能的事。

井熙是真的火了，终于放下其他事情，和数控实验室一起，重点攻关机器抛光。

机器抛光并不是什么罕见的概念，镜面精抛光机也出来好几年了，但是现在的抛光精度依然还比不上最出色的手工，甚至跟比较优秀的工人比，也有些差距。

“关键是传感器对打磨力的有效控制，”井熙说，“我觉得需要再加一个六轴的夹具，这样更利于压力传感器实时感知打磨下压力的大小。”

“六轴联动？”兰洪波第一时间皱起了眉，但是认真想了想：“主要是加正负两个方向，我先试一试。”

五轴机床在国内是首创，而六轴联动，在全世界都算是顶尖技术，虽然只是多加一个夹具，对于操控系统的要求，却呈几何级别的提升。

但搞科研，本来就是从不可能里找出可能性，然后把它实现出来的过程。

井熙甩出需求，转头又回到了自己的实验室。

深紫外光刻机的发展也遇到了壁垒，虽然他们已经成功攻克了200纳米，但是卡在193纳米上，怎么都突破不了了。

“是不是只能继续升级，用极紫外光做光源才有可能？”蒋芸还是摩拳擦掌，极紫外光这个神器都藏好久了，她早就迫不及待想把这宝贝放出去吓唬人了。

井熙却摇头。

在她的记忆里，深紫外光刻机的还有将近二十年的活跃期，肯定没可能这么快就到达极限。