离开了这里,罗晟和几个技术负责人来到了隔间的一间会议室再做讨论。
一位友商伙伴的技术代表负责人发言道:“获取波长13.5纳米的光是实现euv光刻的一个重要步骤,激光等离子体极紫外光源由于其功率可拓展的特性,成为了极紫外光刻最被看好的高功率光源解决方案。”
“但时间表延后有两大原因,一是所需要的光源功率暂时还无法达到250瓦的工作功率需求,二是光学透镜、反射镜系统对于光学精度的要求极高,生产难度极大,难以支撑庞大的研发费用。”
听到这话罗晟笑了,原来是有难处啊,而且这个难处直指小钱钱的问题。
罗晟笑道:“这个两个原因可以归结为一个原因,钱的原因,你就直说你们缺钱不就行了,我都在光刻机上面砸了几千个亿了,不在乎后面几十上百亿的,能解决问题,掏个百把亿这点钱我怎么都不会吝啬,只要别像鹏星精密那样骗我的钱就是了。”
众人不禁低低的发笑,友商略尴尬而又不失优雅的连连说道:“罗总说笑了,鹏星精密那是屁股不正,吃里扒外更目光短浅。”
罗晟点头:“那就好,各位,还有谁缺钱的都直说吧,一并解决了,我是不相信只有一家有难处。”
众人大囧。
不夸张的说,蔚蓝海岸和晟峰资本是真的几乎供养了这五年来光刻机研发的全部费用,超6000多亿的研发经费已经烧掉了,友商伙伴们就算是把他们的底裤当掉也凑不齐这个数。
没有家族基金的底子在那儿摆着,还真不敢这么玩儿。
不过罗晟给钱不是白给,而是以长期性质的价值投资的形式完成资金汇入,将来大部分友商伙伴的企业都是要在大a上市的,晟峰资本可以选择持有或卖出都行。
罗晟都把话说到这个份上了,有难处的各大友商伙伴也不矫情了,也就纷纷把自己难处的事情都说了出来。
结果如罗晟意料的一模一样,钱的问题。
只是钱的问题在罗晟这里算不得什么大问题,甚至都不是问题,自然是给了,都已经投入这么大了,这次总共融资额度600亿元左右,不是很多但也不小。
蔚蓝海岸出其中70%,晟峰资本出剩下的比例,原因是后者现在的钱在大a布局,还找蔚蓝海岸拆借了一笔钱确保自身的流动性,家族基金当然有的是钱,但周转起来比较麻烦。
会后,罗晟再次来到了无尘工作室,探查了一下工作环境然后把负责人召集过来吩咐道:“要注意极紫外光刻机要把光压到这么短的波长,需要极高的能量,确保供电问题不出纰漏,还有安全问题。”
“明白,罗总请放心。”
为了提高产能,将光源功率不断提高来提升曝光的节拍,需要更高的用电需求。
所以,光刻机的极低能源转化率导致了极高的耗电量,只能用极端的耗电来出大力出奇迹。
极紫外光刻机设备除了零部件昂贵,技术复杂外,极高的耗电能力也是一绝。
首先,要得到这样高功率的极紫外光,需要功耗超强大的激光器。
这样的激光器在工作时会产生很大的热量,这就需要配上一套卓越的散热冷却系统才能确保设备正常运作,而这又需要消耗大量的电力。
其次,在修正光的前进方向时,每一次反射仍然会损失三层左右的能量,经过十几面反射镜,将光从光源一路导到晶圆,最后大概只能剩下不到2%左右的光线了,而被吸收的能量就必须要用到大功率散热系统进行冷却。
在极紫外光刻机设备的技术研发投入上,罗晟比竞争对手al公司多了三四倍之多,这也是没办法的事情,al技术底子在哪里,而罗晟是几乎从零开始做起。
另一个原因在于al还有三大客户三星、抬积电、英特尔共同投资了52.59亿欧元研发euv光刻机。
而罗晟只能自己掏钱,至于那群队友,前期都是赔钱货,甚至还有骗钱。
但不管怎么说,这一千多亿美元耗时五年砸下去能在光刻机领域不受外国人的垄断就是巨大的胜利了,在极紫外光刻机这个档位再也不落后于al公司了。