这不是钱的事。
但光刻机,光刻胶,蚀刻机,封装设备,光凭华芯科技一家,吃透这些技术基本上不可能,这需要调动全社会的力量。
在清大的光学研究所,王岸然生了一肚子的闷气。
刘本清教授在激光光源上耕耘一生,在1971年,参与了我国第一台紫光干涉激光的研制,在1980年,负责国家第一台接近式jl_01光刻机的研制。
他实在受不了,自己的研究工作,会受一个毛头小伙子的指点。
而王黯然也是气不过,自己在光学研究所投了上千万,现在好了,就是增加一个浸没式光刻机的探讨研究,就这么难?
“王总,我再重申一遍,浸没式光刻机虽然在理论上可以缩小投影图,不过在实际操作上,已经被证明了,这套技术行不通,研究下去就是浪费钱。”
“刘教授,我只是建议在这上面再做一些探讨,而且这项技术并没有证明行不通,而是还没有行通。”
刘本伟不屑一顾。
“王总,我跟你说这句话是实事求是的,浸没式光刻技术在七八年前就有立项,其中的困难跟你说,你也不清楚。
我只想说明一点,有那个精力研究浸没式光刻机,把精力投到紫光激光光源上,效果会好的多。”
看来在这个时代,大家的普遍意识就是,搞浸没式光刻机是条绝路。
王岸然深吸一口气,犟鸭子嘴硬的科研人员太多了,自己当初也是他们的一员,跟刘本清生气,就是跟自己生气。
这些人要是犯气牛脾气来,能把天捅破,唯一的解决之道,就是以德服人,哦,不,是以理服人。
“超高纯度折射率液体,往往水里有一粒微尘,或者一个气泡,或者多了一些离子,都可能对加工造成巨大的影响。
再加上高纯水浮在晶片上,目前的光刻胶中的分子会溶进水中,造成液体介质污染,刘教授,我说的没错吧!”
刘本清在王岸然说第一句话的时候就愣住了,什么情况,他懂。
待到王岸然将两大技术难点合盘而出,刘本清说道:“王总,你……?”