这套光源装置由直线加速器、增强器、储存环、束流引出、光束线、实验站组成。这套体型无比庞大的实验装置能够产生超过300兆伏的电子束流，被

磁铁强迫进入圆形轨道时，这些束团以接近光的速度运行，依次通过自由电子激光放大器的各个元件后通过总长18米的波荡器阵列发出发出明亮的极紫外和x射线光，通过光束线输送到实验站。

这套装置并不是专门为光刻机特别研制的，主要是用来做实验用的，有了这种比起太阳要亮100亿倍的光源的照射，几乎所有的原子和分子都无处遁形，可以清楚地看到原子分子和和病毒在各种条件下的活动情况。

这对能源、化学、物理、生物、材料、大气雾霾、光刻等多个重要领域研究无疑是增添了一个无以伦比的工具。

之前国内虽然也是建设了第二代同步辐射光源，不过这个实验室的规模很小，只能满足国内科学家一小部分的需要。

现阶段华兴集团公司一家公司每年就需要同步辐射光源做大量的实验，国内的第二代同步辐射光源根本就满足不了需求，只能去鹰酱、高卢鸡、约翰牛、霓虹国、西班牙、德国这些国家的高能同步辐射大型

实验室做实验。

这些国家自己国内本身就有大量的科研团队要进行实验，华兴集团公司自然要排队，而且还要花费很多的资金。

于是杨杰也是动了自己建设第三代同步辐射光源大型实验室的念头，建设这样的实验室一个是为了做实验用，另一个也是为了极紫外光光刻机光源的研发做准备。

现阶段只有鹰酱能源部所属劳伦斯伯克利国家实验室在1993年3月建成了世界上紫外线和软x射线束流最亮的光源和在其能区内世界上第一台第三代同步辐射光源。

也正是鹰酱有了这么一套实验测试工具，让以前不可能进行的研究成为可能。

这套装置在电磁光谱的远紫外和软x射线区产生光，波长为10纳米米到0.1微米之间，是研究物质的良好工具。