“双工台模块运动的误差必须小于2纳米,初始加速度大于导弹发射”
“为了过滤杂光,锅盖反射镜片内部足有四十层,表面加工误差不得大于1纳米”
“还有就是组装技术,即便每个模块的精度都达标,组装的过程中,也必须确保误差几乎为零”
“综上我们能得出结论:制造一台euv光刻机的难度,至少是氢弹的十倍。”
“如此高端的工业制造技术,理论上,华国还要十年时间,才能逐渐吃透和掌握,但”
轰地一声。
身后大屏幕上,落下两行大字:
黑洞科技,提前攻克高端制造技术
暴龙euv,于今天宣布制造成功!
“哇”
观众躁动一片,齐齐惊呼出声,甚至起身站立。
当然口说无凭,接下来的一个小时,蒲伟才开始讲述国产暴龙euv的种种技术特点。
132纳米激发光源,激发效率是193纳米光源的两倍多。
金属液锡的击打频率,从最开始的50次,500次,5000次,逐渐达到可以使用的2万次,最终追平国外的每秒5万次!
国产锅盖镜片,反射率为82国外为70,经过20次反射后,最终能量利用率达189,艾思迈euv只有008。
综合曝光功率,超过了625w,是艾思迈euv的25倍。
至此。