甚至卫明会亲自参与到耗费时间极多的“组装”过程中,利用小黑的扫描半径,其他操作手至少得半小时才能装好的一个零件,他3分钟内就能实现精确安装。
并且修正了许多地方的安装误差。
让系统的稳定性大大提高。
让13个精确的子系统,逐渐变成了一个能进行精确联动的大系统。
于是接下来的半个月。
光刻机研发部,刷新了一个又一个数据记录,每天都有爆发般的欢呼,从厂房里发出。
“锡滴释放频率每秒5万次,持续工作33分27秒。”
“每秒5万次,持续工作38分15秒!”
“每秒5万次,持续工作47分48秒!”
“每秒5万次,持续工作59分52秒接近一个小时,光源系统磨合到完美程度,这是不可能被超越的一个极限!”
不过还有一个极限,不是不能突破。
“既然我们的光源系统稳定性这么高,索性,我们不做复杂麻烦的纠偏系统算了,再往里面加入一组光源,构成双光源系统,光刻机正常使用的情况下,只让一组光源进行工作,每次工作半个小时,另一组光源进入休息调整状态,半小时后接替工作,轮流换班,减少累积误差。”
“此外这台机器还有一个狂暴模式,那就是让两套光源系统,同时投入工作,每秒10万粒的锡滴,20万次的击打,产生超过1250瓦强度的极紫外光,这个光强是艾思迈光刻机250瓦的5倍之高,比普通duv光刻能量也强悍的多。”
“狂暴模式下,这台光刻机每小时至少能处理600片以上的晶圆,艾思迈只能处理125片,我们的效率能高四五倍!”
“而且能量越高,光刻出的清晰度、锐利度也越高,这能明显提高芯片的质量和良率,减少多重曝光的次数,更容易实现3纳米芯片的制造,帮助我们从开始的7纳米,越过中间的5纳米,快速过渡到最新的3纳米,实现跳跃式的发展!”
蒲伟才的技术团队中,一位名叫罗聪的研究员,提出了一个叫“狂暴模式”的构想。